HD500ئويۇش تېخنىكىسى
ئۈلگە سىستېمىسىنى تەكشى ئوراپ تۇرىدىغان ئالاھىدە لايىھەلەنگەن ماگنىت مەيدانى
ئويۇشنىڭ ناھايىتى ياخشى بىر خىللىقى
ياخشى دىفراكسىيە
تەڭشىگىلى بولىدىغان ئويۇش كۈچى
ئويۇلغان مودۇللار ئاسراشقا موھتاج ئەمەس
قوس ئىئون قاپلاش (AIP)
يۇقىرى ئىئونلىشىش سۈرئىتى
يۇقىرى زىچلىق
يۇقىرى چۆكمە نىسبىتى
نۇرغۇن مىكرو زەررىچىلەر
قوپال يۈزە
G4 بىرلەشتۈرۈلگەن كاتود
يۇقىرى ئىئونلىشىش سۈرئىتى
يۇقىرى زىچلىق
يۇقىرى چۆكمە نىسبىتى
سىلىق يۈزە، مىكرو زەررىچىلەر يوق
تۆۋەن قالدۇق بېسىم
ماگنىترون پۈركۈش (MS)
سىلىق يۈزە، مىكرو زەررىچىلەر يوق
تۆۋەن قالدۇق بېسىم
تۆۋەن چۆكمە نىسبىتى
تۆۋەن ئىئونلىشىش سۈرئىتى
PECVD قاپلاش تېخنىكىسى
پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (PECVD) يۇقىرى ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ئىنتايىن سىلىق، يېپىشقاق ئامورف ئالماس قاتتىق قېتىشمىسى قاپلىمىلىرىنى چۆكتۈرىدىغان بىر جەريان. PVD جەريانلىرىغا سېلىشتۇرغاندا، PECVD جەريانلىرى چوڭقۇر قاپلاش ئېنېرگىيە مەنبەسىنى ئىشلىتىدۇ، كاتود نىشانلىرىنى تەلەپ قىلمايدۇ، ھەمدە ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ ئوچاق كامېراسىدا ئايلىنىشىنىڭ ھاجىتى يوق. بۇ جەريان پاكىز، بۇلغىنىشسىز، ئىشەنچلىك ۋە كۆپ ئىقتىدارلىق قاپلاش جەريانى.
● ئاددىي ئۈسكۈنىلەر، قوشۇمچە ئىئونلاشتۇرۇش مەنبەسى تەلەپ قىلىنمايدۇ
● بىرىكمە ماگنىت مەيدانى لايىھىسى، ئىئونلىشىش سۈرئىتىنى ئاشۇرۇش
● يۇقىرى چۆكمە سۈرئىتى ＞ 1μm/h
● تۆۋەن چۆكمە تېمپېراتۇرىسى
● سىلىق يۈزە، چوڭ مىكرو زەررىچىلەرنىڭ بۇلغىنىشى يوق
● پلازما تازىلاش مەھسۇلاتلىرى، ئاسراشقا ئېھتىياجلىق ئەمەس
تەڭپۇڭسىز يېپىق ماگنىت مەيدانىنى سىمۇلياتسىيە قىلىش
يۇقىرى زىچلىقتىكى پلازما
پلازما تازىلاش مەھسۇلاتلىرى
PECVD (aC:H ئۈچۈن)
زاپچاسلارنىڭ ئۇپراشقا چىدامچانلىقى، مايلاش، چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە يۇقىرى چاپلىشىش كۈچى تەلىپىگە ئاساسەن، DLC قاپلىمى كۆپ قەۋەتلىك قۇرۇلما، گرادىيېنت ئۆتكۈنچى ۋە ئارا يۈز بىرىكمىسى ئۇقۇمىغا ئاساسەن قۇرۇلما جەھەتتىن لايىھەلەنگەن.
DLC قاپلاش قۇرۇلمىسى
قېلىنلىقى 2-4μm (ھەر خىل ئېھتىياجغا باغلىق)